真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。
真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱簡介:
真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內(nèi)部,從而置換腔內(nèi)空氣降低氧濃度,來防止部分物料在高溫環(huán)境下加速氧化的現(xiàn)象。烤箱抽取真空后,充入氮氣,再抽取真空,多次循環(huán)后可以確保烤箱的工作室處于無氧的狀態(tài),避免活性較強的物料在高溫有氧的環(huán)境下被氧化而損壞。
無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場所。
真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱技術(shù)指標(biāo):
工作室尺寸(mm) | 450×450×450,600×600×600,可定制 |
箱體材質(zhì) | 內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑或不銹鋼 |
溫度范圍 | RT+10-300/400/500℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動度 | ≤±1℃ |
升溫速率 | ≤5℃/min |
降溫速率 | 特殊要求數(shù)據(jù) |
真空度 | ≤133pa或要求數(shù)據(jù) |
電源 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
控制儀表 | 人機界面,可校準(zhǔn)溫度控制器,PID自整定等功能 |
擱板層數(shù) | 不銹鋼托盤2層或多層 |
真空泵 | 油泵/干泵自選 |
腔門密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈 |
狀態(tài)指示燈 | 配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態(tài) |
氧含量 | 20PPM,可檢測,實時顯示 |
潔凈度 | Class100、1000級 |
降溫系統(tǒng) | 風(fēng)冷+水冷 |
氮氣控制 | 可程序自動控制 |
安全保護(hù)裝置 | 安全的接地保護(hù)裝置,超溫保護(hù)及報警裝置,漏電保護(hù)裝置 |
上海雋思儀器 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)烘烤制程設(shè)備定做服務(wù),無氧烤箱,真空無氧化烤箱,無氧真空烘箱,無塵烤箱,無塵無氧烤箱,真空無氧固化烤箱,PI烤箱,潔凈烘箱,氮氣烤箱,隧道烘爐,HMDS真空烤箱等。