硅片無氧烘箱，半導體厭氧烤箱? 概述

硅片無氧烘箱，半導體厭氧烤箱，在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……

技術參數(shù)

主要技術指標

Ø  含氧量：< 100ppm;

Ø  溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200℃；

Ø  溫度均勻度：±1℃;

Ø  溫度波動度：±0.5℃（空載）

Ø  溫控精度：0.1℃

箱體結構

烘箱擱板為活動形式。

Ø  溫控裝置：智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng)，控溫精度±1℃，溫度為室溫至300℃任意調(diào)節(jié)，并具有PID自整定，自動恒溫等功能

Ø  超溫保護:獨立配置超溫保護儀，超過溫度上限，自動報警并主動切斷加熱

Ø  固態(tài)輸出：SSR無觸點繼電器模塊，靈敏度高，壽命長

Ø  測溫裝置：不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器，精確測溫，放心使用

Ø  定時裝置：高精度數(shù)顯自動定時器，0-99.99小時恒溫時間設定，可預設烘烤時間

Ø  報警系統(tǒng)：APT/AD16型聲光報警系統(tǒng)，時間到聲光報警并自動切斷加熱

Ø  電器元件：采用電器

Ø  安全裝置：漏電，短路，過載保護；鼓風電機過載缺相保護