可編程潔凈烘箱,程序無塵烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.
可編程潔凈烘箱,程序無塵烘箱用途及執行標準 | ||
制造標準 | 本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及國家相關標準研究制造。 | |
2、產品用途 | 主要應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。 | |
3、適用行業 | 應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業. | |
可編程潔凈烘箱,程序無塵烘箱技 術 性 能 參 數 | ||
1、設備名稱 | 高溫無塵無氧烤箱 | |
2、設備型號 | JS-MOA130-1F | |
3、主要技術參數 | ||
3.1 工作室尺寸 | 450×450×650mm(W×D×H) | |
3.2 材質 | 外箱采用優質冷軋板噴塑,內箱采用SUS/304不銹鋼 | |
3.3 溫度范圍 | RT+10-450℃,使用溫度≤380℃ | |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ | |
3.5 溫度波動度 | <±1℃ | |
3.6 溫度均勻度 | ≤±2% | |
3.7 潔凈度 | class 100,設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環境 | |
3.8電源及總功率 | AC 380V±10% / 50HZ 總功率約11.0KW | |
3.9 升溫時間 | 每分鐘5度,全程平均(空箱測試) | |
3.10降溫時間 | 降溫方式:水冷+風冷,300℃-90℃降溫時間約為1小時(空箱測試) | |
3.11氧含量
| 高溫狀態氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量 | |
3.12 數據輸出 | 六通道溫度檢測記錄儀 |
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱用途:
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱產品技術參數:
1.主要技術指標:
無塵等級:Class 100;
溫度范圍:RT+10~200℃;
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:W800×D800×H1000(mm)
電源:380v , 50Hz,20KW
網板:2塊(高度可調節)