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有降溫功能真空烘箱，300度可降溫真空烤箱用于鍵合預處理，晶圓，芯片，電容，電池，封裝，光刻膠固化，PI固化等

充氮真空烘箱，快速降溫真空烤箱用于鍵合材料的真空預處理 、BCB固化、ITO膜退火，PI膠固化等工藝。廣泛應用于半導體、電子產品、醫療衛生等行業。

PI固化厭氧烘箱，聚酰亞胺固化爐多次實驗后采用階梯升溫過程,亞胺化效果*。采用程控烘箱進行亞胺化,烘箱內為純N2氛圍.

充氮厭氧烘箱，450度厭氧固化爐應用于精密電子元件、聚酰亞胺層（PI）固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環境，特別適合半導體制造、MEMS制作、工藝COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求。

無氧烘箱，20ppm無氧高溫烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，形成高溫、低氧（無氧）、潔凈環境，特別適合半導體制造、COB封裝、IC封裝、醫療衛生、石英玻璃、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求.

硅片清洗設備，硅片全自動清洗機應用于集成電路，MEMS器件，微波器件，先進封裝等工藝。去膠清洗設備，顯影清洗設備，酸堿刻蝕機。也可用于零部件清洗，石英管道清洗，外延片清洗（砷化鎵，氮化鎵，碳化硅，鈮酸鋰等

刻蝕機，半導體刻蝕臺用于半導體芯片、襯底片的清洗及濕法腐蝕、去膠、去蠟、剝離等工藝的設備。