全國統(tǒng)一熱線:
傳真(FAX):86-021-60649603
郵編(P.C):201417
E-mail:junsish@163.com
地址:上海奉賢柘林工業(yè)區(qū)3213號(hào)
高精度烤膠機(jī)的基本功能
加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制
控溫范圍:室溫--200/300/400/500/600℃
溫度分辨率 :0.1℃
溫度波動(dòng)度:≤±0.5℃
溫度均勻性:≤±0.5/1℃
電源輸入:AC220V
熱板表面: 由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成
高精度烤膠機(jī)的擴(kuò)展功能
支撐pin材料
邊緣支撐pin
N2吹掃,無氧化烘烤
烘焙距離可調(diào)模組
真空腔體
智能型控制系統(tǒng)
高精度烤膠機(jī)的用途
用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。